黎明六氟化硫的應用
發布時間：2018-12-03 訪問量：3968
黎明六氟化硫在常溫常壓下呈氣態，裝瓶后為高壓液體。無色、無臭、無毒、不燃。具有良好的化學穩定性和熱穩定性。近年來,氣體在許多生產技術領域中,越來越顯示出它的重要性。
黎明六氟化硫是我國科研、生產等許多部門急需的特種氣休,在半導體工業巾用于等離子蝕刻工藝,在光導纖維制造中用作隔離層摻雜劑。SF6氣體還是重要的激光材料,在其它領域也有重要用途。
在TFT-LCD面板廠及其他微電子行業，黎明六氟化硫常用作清潔氣體和蝕刻氣體，在光導纖維的生產過程中，也常用六氟化硫作為單膜光纖隔離層摻雜劑。
另外，需要注意的是電器設備內的六氟化硫氣體及分解物與絕緣材料反應而生成某些有毒產物。如與含有硅成分的環氧酚醛玻璃絲布板(棒、管)等絕緣件;或以石英砂、玻璃作填料的環氧樹脂澆注件、模壓件以及瓷瓶、硅橡膠、硅脂等起化學作用，生成SiF4、Si(CH3)2F2等產物。
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